Система керування поліруванням
Хіміко-механічні шліфувальні машини серії LSTD CP призначені для точного хімічного механічного полірування напівпровідникових пластин, таких як Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC тощо. Машини відрізняються як динамічною стабільністю, так і індивідуальним застосуванням. Професійна команда проектувальників, команда дослідників і машинобудівників, а також кваліфіковані необхідні засоби забезпечують гарантію успішної поставки напівпровідникового обладнання серії CP.
Система дозування полірувальної суспензії （CDS）:
Типові функції:
▲ управління зберіганням сирої рідини
▲ автоматичне (дистанційне) транспортування маточного розчину
▲ безпечне постачання основного розчину
▲ безперервне обслуговування системи подачі основного розчину
Змішування полірувальної суміші та центральна система подачі:
Типові функції:
▲ кількісне розведення полірувального розчину
▲ змішування полірувального розчину
▲ контроль температури полірувальної рідини
▲ антикристалізаційна та очисна функція полірувальної рідини та трубопроводу
▲фільтрація та дистанційне транспортування готової полірувальної рідини
▲ безперервне обслуговування системи
Система подачі та рециркуляції полірувального шламу:
Типові функції:
▲ кількісне розведення полірувального розчину
▲ змішування полірувального розчину
▲ контроль температури полірувальної рідини
▲ антикристалізаційна та очисна функція полірувальної рідини та трубопроводу
▲фільтрація та дистанційне транспортування готової полірувальної рідини
▲ безперервне обслуговування системи
Популярні Мітки: система керування поліруванням шламом, виробники, постачальники, фабрика системи керування поліруванням шламом у Китаї
Наступний
НіВам також може сподобатися
Послати повідомлення