Помельну рідину поділяють за механізмом дії: помельну рідину механічної дії, помельну рідину хімічно механічної дії.
Рідина для механічного шліфування: алмаз, B4C тощо використовуються як абразиви, дисперговані в рідкому середовищі шляхом додавання диспергаторів тощо, щоб утворити рідину з ефектом шліфування, яка називається алмазною шліфувальною рідиною, шліфувальною рідиною з карбіду бору тощо. вільно розподіляється в дисперсійній рідині, а шліфування та потоншення заготовки здійснюється за принципом, згідно з яким твердість абразиву є більшою, ніж твердість заготовки, що шліфується. Відповідно до поверхні абразиву, розміру частинок, конфігурації шліфувальної рідини, стабільності шліфувального обладнання тощо, після завершення шліфування на поверхні легко залишаються великі чи маленькі подряпини. заготовку. Тому абразиви механічної дії зазвичай використовуються для грубого шліфування з подальшим прецизійним шліфуванням і поліруванням.
Хіміко-механічна шліфувальна рідина: хіміко-механічна шліфувальна рідина використовує принцип «м’якого шліфування та зміцнення» при зношуванні, тобто полірування м’якшими матеріалами для досягнення високоякісної полірованої поверхні. Це поєднання механічного шліфування та хімічної корозії. Він утворює гладку та плоску поверхню на поверхні шліфованого середовища за допомогою дії шліфування та хімічної корозії ультрадрібних частинок. Тому рідину для хімічного механічного полірування також називають рідиною для хімічного механічного полірування (Chemical Mechanical Polishing, також CMP). За наявності певного тиску та полірувальної суспензії заготовка, яку потрібно полірувати, рухається відносно полірувальної подушки, і на поверхні полірованої заготовки утворюється гладка поверхня за допомогою органічного поєднання шліфувального ефекту наночастинок і корозійна дія окислювача.
